集成傳感器:采用標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)硅半導(dǎo)體集成電路的技術(shù)制造。通常，用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同一芯片上。

　　薄膜傳感器:由沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的相應(yīng)敏感材料制成。采用混合工藝時，同樣可以在這個基板上制造部分電路。

　　厚膜傳感器:由相應(yīng)材料的漿料涂覆在陶瓷基板上?；逋ǔＳ葾l2O3制成，然后熱處理以形成厚膜。

　　陶瓷傳感器:采用標(biāo)準(zhǔn)陶瓷技術(shù)或其變種技術(shù)(溶膠、凝膠等)生產(chǎn)。完成適當(dāng)?shù)臏?zhǔn)備操作后，成型的部件在高溫下燒結(jié)。

　　厚膜和陶瓷傳感器有許多共同的特點(diǎn)。在某些方面，可以認(rèn)為厚膜技術(shù)是陶瓷技術(shù)的變形。每一種技術(shù)都有其優(yōu)缺點(diǎn)。陶瓷和厚膜傳感器的使用是合理的，因?yàn)檠芯?、開發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低，以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性。