1.溫度穩(wěn)定性好。

　　電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān)，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料，由于加熱極小，對(duì)穩(wěn)定性影響不大。而且電阻傳感器有銅損，容易發(fā)熱產(chǎn)生零漂移。

　　2.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。

　　電感傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制造和保證高精度，可以做得很小，以實(shí)現(xiàn)一些特殊的測(cè)量;能在高溫、強(qiáng)輻射、強(qiáng)磁場(chǎng)等惡劣環(huán)境下工作，能承受較大的溫度變化、高壓、高沖擊、過載等。;它可以測(cè)量超高溫和低壓差，也可以測(cè)量磁性工作。

　　3.良好的動(dòng)態(tài)響應(yīng)。

　　由于帶電極板之間的靜電引力很小(約10^(-5)N)，電感傳感器所需的作用能量很小，而且由于其可動(dòng)部分可以做得很小很薄，即質(zhì)量很輕，因此其固有頻率很高，動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短，可以在幾兆赫茲的頻率下工作，特別適合動(dòng)態(tài)測(cè)量。由于介質(zhì)損耗小，可以高頻供電，系統(tǒng)工作頻率高?？捎糜跍y(cè)量高速變化的參數(shù)。

　　4.非接觸測(cè)量，靈敏度高。

　　不接觸測(cè)量旋轉(zhuǎn)軸的振動(dòng)或偏心率、小滾珠軸承的徑向間隙等。采用非接觸測(cè)量時(shí)，電容式傳感器具有平均效應(yīng)，可降低工件表面粗糙度對(duì)測(cè)量的影響。

　　電容式傳感器的優(yōu)點(diǎn)是什么?除了上述優(yōu)點(diǎn)外，電感傳感器還可以測(cè)量極低的壓力、力和小的加速度、位移等。，因?yàn)樗鼈冊(cè)趲щ姌O板之間的靜電引力很小，所需的輸入力和輸入能量很小，可以敏感，分辨率高，可以感應(yīng)0.01μm甚至更小的位移。由于其空氣等介質(zhì)損耗小，采用差動(dòng)結(jié)構(gòu)并聯(lián)成電橋時(shí)產(chǎn)生的零殘極小，允許電路高倍放大，使儀器具有較高的靈敏度。